Coloquio de Física - Estudio y manufactura de películas delgadas amorfas de SiC y AlN

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Ponente: Gonzalo Gálvez (Sección Física PUCP) Los compuestos semiconductores de SiC y AlN monocristalinos son adecuados, por ejemplo, para dispositivos optoelectrónicos en la región de espectro ultravioleta debido a su ancho de banda (3 eV a 6.2 eV). El sistema análogo amorfo (SiC)1-x(AlN)x se destaca por su fácil preparación y bajo costo.Las películas delgadas amorfas de (SiC)1-x(AlN)x son manufacturadas y estudiadas en la Pontificia Universidad Católica del Perú (PUCP) usando la técnica de deposición de rf magnetrón sputtering. Los materiales usados como fuentes (target) son SiC y AlN policristalinos altamente puros, preparados en la universidad de Friedrich-Alexander, las cuales aseguran, en contraste con los targets cerámicos comercialmente disponibles, la calidad semiconductora de las películas amorfas.